産品信息
産品介紹
手動真空波紋管角閥采用316L波紋管并結合潔淨工藝處理，使閥門在(zài)使用過程中減少顆粒物的(de)産生，非常适用于(yú)半導體行業或研究環境。它主要(yào / yāo)用于(yú)規格儀表或系統隔離，同時(shí)也(yě)推薦作爲(wéi / wèi)通氣、旁路或粗抽閥使用。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
密封圈 FKM
波紋管 316L
手柄 6061
工作條件
真空壓力等級 0.1Mpa-1x10 -9 pa
漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
CV值 1.0/1.5/2.2
工作溫度 -10 ～ 80℃
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
産品特點
采用 316L 波紋管并結合潔淨工藝處理
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關鍵詞：
氣體管閥件
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