産品信息
産品介紹
前驅體源瓶用于(yú)固态、液态及氣态超純物料類的(de)封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的(de)危險化學品，對源瓶的(de)安全性和(hé / huò)潔淨度提出(chū)嚴苛的(de)要(yào / yāo)求。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
瓶體 316L
工作條件
工作壓力 0.8Mpa
内漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 0 ～ 150℃
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm
産品特點
超純物料類的(de)封裝
涉及微正壓、常壓、中低壓
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關鍵詞：
氣體管閥件
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