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VG 系列真空發生器

驅動氣體壓力: 70 ~ 120psig|可達真空度: -82Kpag|材質:316L|工作溫度-10℃~60℃


産品信息

産品介紹 

VG 系列真空發生器,在(zài)吹掃過程中引入真空,顯著改善吹掃和(hé / huò)工藝氣體的(de)稀釋效果。

産品特點

清洗、組裝、測試和(hé / huò)包裝在(zài)10級潔淨間完成

超純水清洗

内部粗糙度 Ra ≤ 0.25µm

外漏率低于(yú) 1×10-10Pa.m3 /Sec.He

工作條件

驅動氣體壓力           70 ~ 120psig

可達真空度              -82Kpag

工作溫度                 -10 ~ 60℃

外漏率                    ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.25μm

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關鍵詞:

氣體管閥件


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