産品信息
産品介紹 |
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| Uα-1L氣體減壓器專爲(wéi / wèi)超高純氣體，半導體級工藝氣體設計，滿足超大(dà)規模集成電路的(de)使用要(yào / yāo)求。 | |
主要(yào / yāo)部件材料 |
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| 閥體 | 316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L（VIM+VAR）/ UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
工作條件 |
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| 進口壓力 | 300psig |
| 出(chū)口壓力 | -25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig |
| 原壓變動 | 0.7psig / 100psig |
| 工作溫度 | -10 ～ 60℃ |
| 内漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數 | 0.15 |
| 内表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
産品特點 |
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| 适用于(yú)VMB、VMP | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件選項 | |
| 每台減壓器進行單獨的(de)壓力測試、功能測試、氦質譜洩漏測試和(hé / huò)顆粒物檢測 | |
| 内部無彈簧，内部死體 積小，減少了(le／liǎo)顆粒物的(de)存留 | |
| 束縛膜片結構，增加安全性 | |
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2024-11-21
關鍵詞：
氣體管閥件
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