Uα-1B 氣體減壓器

進口壓力:300psig｜出(chū)口壓力:-25in Hg~0~30psig 30、60、100、150psig｜材質:316L（VIM+VAR）｜工作溫度-10℃~60℃

類别：

産品信息

産品介紹
Uα-1B 氣體減壓器專爲(wéi / wèi)超高純氣體，半導體級工藝氣體設計，滿足超大(dà)規模集成電路的(de)使用要(yào / yāo)求。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體	316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
閥針	316L（VIM+VAR）/ UNS N10276
密封墊	PCTFE / PI
手柄	ABS
閥蓋	316L
工作條件
進口壓力	300psig
出(chū)口壓力	-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原壓變動	1.3psig / 100psig
工作溫度	-10 ～ 60℃
内漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數	1.1
内表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适用于(yú) VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件選項
每台減壓器進行單獨的(de)壓力測試、功能測試、氦質譜洩漏測試和(hé / huò)顆粒物檢測
内部無彈簧，内部死體積小，減少了(le／liǎo)顆粒物的(de)存留
束縛膜片結構，增加安全性