産品信息
産品介紹
DPH 系列氣動隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率，超長使用壽命，穩定快速的(de)側進氣執行機 構；适用于(yú)超高純 度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大(dà)規模集成電路的(de)工藝氣體要(yào / yāo)求。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數 0.5
工作溫度 -10 ～ 70℃
内漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.1μm
産品特點
适合超高純度氣體應用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重複執行的(de)氣動執行機構
每台閥門進行單獨的(de)氦質譜檢測
超長使用壽命（400 萬次實驗值）
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2024-11-21
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