産品信息
産品介紹
QPH（H） 系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低漏率，長壽命，快速響應，可選耐高溫；适用于(yú)原子(zǐ)層沉積（ALD）系統，主要(yào / yāo)用于(yú)集成電路晶圓生産的(de)環節。超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA
工作條件
工作壓力 真空至145psig
流量系數 0.27/0.62
工作溫度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
内漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.13μm
産品特點
快速響應下的(de)超長使用壽命
耐高溫執行器
每台閥門進行單獨氦質譜洩漏測試
可選的(de)模塊化表面安裝、卡套管對焊和(hé / huò)UCR® 端接
相關下載
2024-11-21
獲取報價
我們将在(zài)一(yī / yì ／yí)個(gè)工作日内與您聯系。請注意您的(de)手機來(lái)電。
