産品信息
産品介紹 |
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| Xα-1H 氣體減壓器。單級膜片式結構設計， 硬密封結構，内部電解抛光處理；高壓輸入，低壓标準流量輸出(chū)，輸出(chū)壓力穩定；适用于(yú)半導體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。 | |
主要(yào / yāo)部件材料 |
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| 閥體 | 316L/316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
工作條件 |
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| 進口壓力 | 3500psig |
| 出(chū)口壓力 | 30,60,100,150psig |
| 原壓變動 | 0.8psig / 100psig |
| 工作溫度 | -10 ～ 60℃ |
| 内漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數 | 0.09 |
| 内表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
産品特點 |
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| 适用于(yú)特氣櫃 | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件選項 | |
| 每台減壓器進行單獨的(de)壓力測試、功能測試、氦質譜洩漏測試和(hé / huò)顆粒物檢測 | |
| 膜片與閥體之(zhī)間采用金屬對金屬密封設計，密封性能極好 | |
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2024-11-21
關鍵詞：
氣體管閥件
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