MGDS隔膜閥
工作壓力:150psig｜ 材質:316L /316L（VIM+VAR） | 工作溫度:-10℃~80℃
産品信息
産品介紹
MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率；适用于(yú)超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一(yī / yì ／yí)體化氣體分配系統的(de)使用。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ～ 80℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适用于(yú)一(yī / yì ／yí)體化氣路分配系統
每台閥門進行單獨氦質譜洩漏測試
超長使用壽命
相關下載
2024-11-21
關鍵詞：
氣體管閥件
獲取報價
我們将在(zài)一(yī / yì ／yí)個(gè)工作日内與您聯系。請注意您的(de)手機來(lái)電。
