MGDS氣體減壓器Um-1L
進口壓力:250psig 出(chū)口壓力：10,30,60,100psig ｜ 材質:316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-40℃~60℃
産品信息
産品介紹
Um-1L 氣體減壓器，膜片式硬密封結構，超低漏率；适用于(yú)超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一(yī / yì ／yí)體化氣體分配系統的(de)使用。具有卓越的(de)重複性，穩定性，靈敏度和(hé / huò)非凡的(de)響應階躍功能變化。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L（VIM+VAR）
膜片 UNS N10276
閥針 316L / UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 6063
閥蓋 316L
工作條件
進口壓力 250psig
出(chū)口壓力 10,30,60,100psig
原壓變動 0.3psig / 20psig
流量系數 0.06/0.15HF
工作溫度 -40 ～ 60℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适用于(yú)一(yī / yì ／yí)體化氣體分配系統
每台減壓器進行單獨的(de)壓力測試、功能測試、氦質譜洩漏測試和(hé / huò)顆粒物檢測
卓越的(de)重複性，穩定性，靈敏度和(hé / huò)非凡的(de)響應階躍功能變化
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2024-11-21
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