産品信息
産品介紹
DP 系列氣動隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低洩漏率，穩定快速的(de)執行機構；适用于(yú)超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大(dà)規模集成電路的(de)工藝氣體要(yào / yāo)求。
主要(yào / yāo)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破壓力 低壓 3000psig, 高壓 9000psig
流量系數 1/4" 爲(wéi / wèi) 0.25 , 1/2"HF 爲(wéi / wèi) 0.7
工作溫度 低壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适合超高純度氣體應用
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
快速、可重複執行的(de)氣動執行機構
每台閥門進行單獨的(de)氦質譜檢測
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2024-11-21
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