MGDS底座
工作壓力:1Mpa ｜ 材質:316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~200℃
産品信息
産品介紹
MGDS 底座爲(wéi / wèi)一(yī / yì ／yí)體化氣體分配系統技術提供了(le／liǎo)一(yī / yì ／yí)種方法，在(zài)更緊湊的(de)氣體面闆上(shàng)構建氣體輸送系統，利用平面密封技術。每個(gè)表面安裝 組件遵循SEMI标準。可根據需求形成不(bù)同的(de)配置形式。維護時(shí)，僅需在(zài)面闆上(shàng)方進行操作，簡單方便。
工作條件
工作壓力 1Mpa
工作溫度 -10 ～ 200℃
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
技術特征
漏率測試 外漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He，符合實際生産需求。
清潔 10 級潔淨間超純水清洗。
EP 工藝 内部經過 EP 工藝處理後，内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm，滿足超高純度氣體系統要(yào / yāo)求。
安裝 滿足 SEMI 安裝标準。
關鍵詞：
氣體管閥件
獲取報價
我們将在(zài)一(yī / yì ／yí)個(gè)工作日内與您聯系。請注意您的(de)手機來(lái)電。
